Kapasitif sensörler, havayı dielektrik olarak kabuleden bir RC osilatörü vasıtasıyla kapasitif alan oluşturur. Bu kapasitif alanın içine giren metal veya metal olmayan cisimler, dielektrik seviyesinin değişimine sebep olur. Bu sayede osilasyon frekansının değişimi vasıtasıyla sensör algılamasını yapmaktadır. Sensörün iç yapısında elktrot,osilatör, tetikleme ve çıkış katlarından oluşmaktadır.